Photon Sources for Lithography and Metrology - Press Monographs - Vivek Bakshi - Libros - SPIE Press - 9781510653719 - 31 de octubre de 2023
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Vivek Bakshi
Photon Sources for Lithography and Metrology - Press Monographs

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Photon sources enable the extension of lithography and metrology technologies forcontinued scaling of circuit elements and therefore are the key drivers for the extension of Moore's law. This volume is the authoritative reference on photon source technology and includes contributions from leading researchers and suppliers in the field.

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 31 de octubre de 2023
ISBN13 9781510653719
Editores SPIE Press
Páginas 1320
Dimensiones 150 × 220 × 20 mm   ·   1,03 kg
Editor Bakshi, Vivek

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