Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods - Nguyen Van Toan - Libros - Taylor & Francis Ltd - 9780367217761 - 24 de junio de 2019
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Nguyen Van Toan
Capacitive Silicon Resonators: Performance Enhancement Methods 1.º edición

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Recent progress in performance enhancement methods for capacitive silicon resonator will be outlined in this work. Several technological approaches including hermetic packaging based on the LTCC substrate, deep reactive ion etching, neutral beam etching technology, and metal-assisted chemical etching, will be discussed.

162 pages, 19 Tables, black and white; 119 Illustrations, black and white

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 24 de junio de 2019
ISBN13 9780367217761
Editores Taylor & Francis Ltd
Páginas 162
Dimensiones 240 × 162 × 16 mm   ·   416 g
Lengua Inglés  

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