Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication - Mack, Chris (Lithoguru.com) - Libros - John Wiley & Sons Inc - 9780470018934 - 16 de noviembre de 2007
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Mack, Chris (Lithoguru.com)
Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication

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Fundamental Principles of Optical Lithography: The Science of Microfabrication presents a complete theoretical and practical treatment of the topic of lithography for both students and researchers. This sole-authored text includes optional computer simulation exercises as well as problems at the end of each chapter.

534 pages, Illustrations

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 16 de noviembre de 2007
ISBN13 9780470018934
Editores John Wiley & Sons Inc
Páginas 544
Dimensiones 171 × 249 × 37 mm   ·   1,14 kg
Lengua Inglés  

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