Computational Lithography - Wiley Series in Pure and Applied Optics - Xu Ma - Libros - John Wiley & Sons Inc - 9780470596975 - 6 de agosto de 2010
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Xu Ma
Computational Lithography - Wiley Series in Pure and Applied Optics

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This is the first book to address the optimization of resolution enhancement techniques in optical lithography. It provides an in-depth discussion of RET tools that use model-based mathematical optimization approaches.

226 pages, Illustrations

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 6 de agosto de 2010
ISBN13 9780470596975
Editores John Wiley & Sons Inc
Páginas 256
Dimensiones 160 × 241 × 18 mm   ·   508 g
Lengua Inglés  

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