Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching - Chapman, Brian (Burroughs Corp.) - Libros - John Wiley & Sons Inc - 9780471078289 - 25 de septiembre de 1980
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Chapman, Brian (Burroughs Corp.)
Glow Discharge Processes: Sputtering and Plasma Etching

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Develops detailed understanding of the deposition and etching of materials by sputtering discharge, and of etching of materials by chemically active discharge. Treats glow discharge at several levels from basic phenomena to industrial applications--practical techniques diligently related to fundamentals.

432 pages, illustrations, bibliography, index

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 25 de septiembre de 1980
ISBN13 9780471078289
Editores John Wiley & Sons Inc
Páginas 432
Dimensiones 241 × 163 × 31 mm   ·   743 g
Lengua Inglés  

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