Semiconductor micromachining - Hans-joachim Lewerenz - Libros - John Wiley And Sons Ltd - 9780471966821 - 26 de marzo de 1998
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Hans-joachim Lewerenz
Semiconductor micromachining Volume 2 edition

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A two-volume comprehensive guide to both the fundamental physics and chemistry of semiconductor processing, this text covers a broad range of topics ranging from chemical processes through to the microstructuring of semiconductors. Volume two concerns techniques and industrial applications.

406 pages, 141 illustrations, 34 graphs, 18 tables

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 26 de marzo de 1998
ISBN13 9780471966821
Editores John Wiley And Sons Ltd
Páginas 406
Dimensiones 156 × 237 × 29 mm   ·   742 g
Lengua Inglés  
redaktor Lewerenz, H. J.

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