EUV Sources for Lithography - Press Monographs - Vivek Bakshi - Libros - SPIE Press - 9780819496256 - 28 de febrero de 2006
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Vivek Bakshi
EUV Sources for Lithography - Press Monographs

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An authoritative reference book on EUV source technology. Topics range from a state-of-the-art overview and in-depth explanation of EUV source requirements, to fundamental atomic data and theoretical models of EUV sources based on discharge-produced plasmas and laser-produced plasmas, to a description of prominent DPP and LPP designs and other technologies for producing EUV radiation.

1094 pages

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 28 de febrero de 2006
ISBN13 9780819496256
Editores SPIE Press
Páginas 1094
Dimensiones 150 × 220 × 10 mm   ·   1,63 kg   (Peso (estimado))

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