Tribology In Chemical-Mechanical Planarization - Hong Liang - Libros - Taylor & Francis Inc - 9780824725679 - 1 de marzo de 2005
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Hong Liang
Tribology In Chemical-Mechanical Planarization 1.º edición

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The role that friction and contact play in the processes of wear and planarization on material surfaces is central to the understanding of Chemical-Mechanical planarization technology. This book offers an examination of tribological principles and their applications in CMP, including integrated circuits and basic concepts in surfaces of contacts.

200 pages, 148 black & white illustrations, 10 black & white tables, 27 black & white halftones

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 1 de marzo de 2005
ISBN13 9780824725679
Editores Taylor & Francis Inc
Páginas 200
Dimensiones 156 × 234 × 16 mm   ·   468 g
Lengua Inglés  

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