Materials and Failures in MEMS and NEMS - A Tiwari - Libros - John Wiley & Sons Inc - 9781119083603 - 28 de septiembre de 2015
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A Tiwari
Materials and Failures in MEMS and NEMS

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The fabrication of MEMS has been predominately achieved by etching the polysilicon material. However, new materials are in large demands that could overcome the hurdles in fabrication or manufacturing process.

432 pages

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 28 de septiembre de 2015
ISBN13 9781119083603
Editores John Wiley & Sons Inc
Páginas 432
Dimensiones 185 × 262 × 28 mm   ·   934 g
Editor Raj, Baldev
Editor Tiwari, Atul

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