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Microlithography: Science and Technology Bruce W. Smith 3.º edición
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Microlithography: Science and Technology
Bruce W. Smith
Like the bestselling original, this third edition of Microlithography is a self-contained text detailing both elementary and advanced aspects of submicron microlithography, offering a balanced treatment of theoretical and operating practices.
900 pages, 570 black & white illustrations, 40 black & white tables
| Medios de comunicación | Libros Hardcover Book (Libro con lomo y cubierta duros) |
| Publicado | 20 de mayo de 2020 |
| ISBN13 | 9781439876756 |
| Editores | Taylor & Francis Inc |
| Páginas | 838 |
| Dimensiones | 150 × 220 × 20 mm · 1,62 kg |
| Lengua | Inglés |
| Editor | Smith, Bruce W. (Rochester Institute of Technology, New York, USA) |
| Editor | Suzuki, Kazuaki (Nikon Corporation, Tokyo, Japan) |
