Principles of Lithography - Press Monographs - Harry J. Levinson - Libros - SPIE Press - 9781510627604 - 30 de julio de 2019
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Harry J. Levinson
Principles of Lithography - Press Monographs Fourth edition

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This newest edition of Principles of Lithography reflects the continuing advancement of lithographic technology. In recent years, certain topics, such as line-edge roughness (LER), multi-electron-beam writers, have become more significant to practicing lithographers. As such extensive treatments of these topics are provided.

630 pages

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 30 de julio de 2019
ISBN13 9781510627604
Editores SPIE Press
Páginas 630
Dimensiones 262 × 185 × 31 mm   ·   1,42 kg

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