Extreme Ultraviolet Lithography - Press Monographs - Harry J. Levinson - Libros - SPIE Press - 9781510639393 - 30 de diciembre de 2020
En caso de que portada y título no coincidan, el título será el correcto

Harry J. Levinson
Extreme Ultraviolet Lithography - Press Monographs

Recibe un correo electrónico cuando el artículo esté disponible
¿Tienes un perfil? Iniciar sesión

Nuestros clientes opinan:

Política de devolución de 14 días conforme a la legislación europea de protección de los consumidores
Mejor valorado en Trustpilot
Añadir a tu lista de deseos de iMusic

Covers the many aspects of lithographic technology that needed to be addressed in order to make EUV lithography ready for high-volume manufacturing: exposure tools, light sources, masks, resists, process control, metrology, and computational lithography. Each topic is approached from the perspective of a practicing lithographer.

245 pages

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 30 de diciembre de 2020
ISBN13 9781510639393
Editores SPIE Press
Páginas 245
Dimensiones 252 × 176 × 16 mm   ·   440 g

Mere med samme udgiver

Ver todo de Harry J. Levinson ( Ej. Paperback Book y Hardcover Book )