Semiconductor Industry: Wafer Fab Exhaust Management - Sherer, J. Michael (Sherer Consulting Services, Gilbert, Arizona, USA) - Libros - Taylor & Francis Inc - 9781574447200 - 1 de julio de 2005
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Sherer, J. Michael (Sherer Consulting Services, Gilbert, Arizona, USA)
Semiconductor Industry: Wafer Fab Exhaust Management 1.º edición

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Given the myriad exhaust compounds and the corresponding problems they can pose in an exhaust management system, the proper choice of such systems is a complex task. Presenting the fundamentals, technical details, and general solutions to real-world problems, this book offers guidance on selecting an appropriate system for a given application.

216 pages

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 1 de julio de 2005
ISBN13 9781574447200
Editores Taylor & Francis Inc
Páginas 212
Dimensiones 243 × 164 × 17 mm   ·   449 g
Lengua Inglés  

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