Growth of High Permittivity Dielectrics by High Pressure Sputtering from Metalli - Maria Angela Pampillon Arce - Libros - Springer International Publishing AG - 9783319666068 - 13 de octubre de 2017
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Growth of High Permittivity Dielectrics by High Pressure Sputtering from Metalli 1st ed. 2017 edition

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This thesis describes the fabrication of metal-insulator-semiconductor (MIS) structures using very high permittivity dielectrics (based on rare earths) grown by high-pressure sputtering from metallic targets.


164 pages, 6 Tables, color; 6 Illustrations, color; 110 Illustrations, black and white; XXIII, 164 p

Medios de comunicación Libros     Book
Publicado 13 de octubre de 2017
ISBN13 9783319666068
Editores Springer International Publishing AG
Páginas 164
Dimensiones 150 × 220 × 20 mm   ·   444 g
Lengua Alemán  

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