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Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology Thorsten Lill
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Atomic Layer Processing: Semiconductor Dry Etching Technology
Thorsten Lill
325 pages
| Medios de comunicación | Libros Paperback Book (Libro con tapa blanda y lomo encolado) |
| Publicado | 21 de abril de 2021 |
| ISBN13 | 9783527346684 |
| Editores | Wiley-VCH Verlag GmbH |
| Páginas | 304 |
| Dimensiones | 245 × 171 × 18 mm · 584 g |
| Lengua | Inglés |
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