Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication - Springer Series in Materials Science - Klaus Graff - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540642138 - 18 de febrero de 2000
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Klaus Graff
Metal Impurities in Silicon-Device Fabrication - Springer Series in Materials Science 2nd rev. edition

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This up-to-date monograph provides a thorough review of the relevant data and properties of the transition-metal impurities generated during silicon-sample and device fabrication. This new edition includes important recent data and many new tables.

270 pages, XV, 270 p.

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 18 de febrero de 2000
ISBN13 9783540642138
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 270
Dimensiones 155 × 235 × 238 mm   ·   521 g
Lengua Inglés  

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