Reactive Sputter Deposition - Springer Series in Materials Science - D Depla - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783540766629 - 24 de abril de 2008
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D Depla
Reactive Sputter Deposition - Springer Series in Materials Science 2008 edition

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In the family of Physical Vapour Deposition techniques, sputtering is one of the most important. This book describes various aspects of the reactive magnetron sputtering process, from the discharge up to the resulting thin film growth allowing the reader to understand the complete process.

590 pages, 336 black & white illustrations, 5 colour illustrations, 37 black & white tables

Medios de comunicación Libros     Hardcover Book   (Libro con lomo y cubierta duros)
Publicado 24 de abril de 2008
ISBN13 9783540766629
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 572
Dimensiones 162 × 241 × 45 mm   ·   1,13 kg
Lengua Alemán  
Editor Depla, Diederik
Editor Mahieu, Stijn

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