Reactive Sputter Deposition - Springer Series in Materials Science -  - Libros - Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm - 9783642095368 - 25 de noviembre de 2010
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Reactive Sputter Deposition - Springer Series in Materials Science Softcover reprint of hardcover 1st ed. 2008 edition

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In this valuable work, all aspects of the reactive magnetron sputtering process, from the discharge up to the resulting thin film growth, are described in detail, allowing the reader to understand the complete process.


590 pages, 336 black & white illustrations, 5 colour illustrations, 37 black & white tables

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 25 de noviembre de 2010
ISBN13 9783642095368
Editores Springer-Verlag Berlin and Heidelberg Gm
Páginas 572
Dimensiones 155 × 235 × 31 mm   ·   885 g
Lengua Alemán  
Editor Depla, Diederik
Editor Mahieu, Stijn

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