Uchkun Kutliev

Raspylenie Kristallov Pri Bombardirovke Mono- I Poliatomnymi Ionami: Eksperimental'nye Rezul'taty Uchkun Kutliev Russian edition

Kniga posvyashchena probleme issledovaniya poverkhnosti s ispol'zovaniem metodov vtorichno-ionnaya mass-spektrometriya (VIMS) i opticheskaya mikroskopiya (OM), kotorye dayut real'nuyu informatsiyu ob elementnom sostave poverkhnosti. Eksperimental'no dokazana nemonotonnaya zavisimost' vykhoda vtorichnykh ionov ot izmeneniya temperatury misheni, chto svyazano s razlichnymi rezhimami raspyleniya, v rezul'tate izmeneniya kontsentratsii adsorbirovannogo ftora i primesnykh atomov na poverkhnosti. Pri poliatomnoy bombardirovke stepen' erozii poverkhnosti mnogokomponentnykh monokristallov vozrastaet v rezul'tate obrazovaniya plotnykh skopleniy yamok travleniya, chto korreliruet s povyshennym udaleniem materiala misheni v vide atomarnykh i molekulyarnykh ionov. Poluchennye rezul'taty pozvolyat razrabotat' novye metodiki analiza i travleniya poverkhnosti dielektrikov i poluprovodnikov. Kniga prednaznachena spetsialistam v oblasti fizika poverkhnosti, fizicheskoy elektroniki ,mikroelektronike, a takzhe studentam starshikh kursov sootvetstvuyushchikh spetsial'nostey.