Design a Slit HDP Semiconductor Plasma Dry Etcher - Kung Linliu - Libros - - 9798561298431 - 8 de noviembre de 2020
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Kung Linliu
Design a Slit HDP Semiconductor Plasma Dry Etcher

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In order to overcome the difficulties of the manufacturing procedures, the novel concept of slit shape HDP plasma dry etching of metal roller from semiconductor IC process is proposed and applied to a patent.

Medios de comunicación Libros     Paperback Book   (Libro con tapa blanda y lomo encolado)
Publicado 8 de noviembre de 2020
ISBN13 9798561298431
Páginas 140
Dimensiones 152 × 229 × 8 mm   ·   195 g
Lengua Inglés  

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